測量精度：2%；

微觀測量: 粗糙度參數,波紋度參數,原始輪廓參數,珩磨網紋粗糙度參數,日本標準參數,法國標準參數三維形貌/三維表面粗糙度參數等；

宏觀輪廓形狀測量: 輪廓調平找正,長度, 高度,圓弧半徑,間距,角度,形狀誤差,DXF/CAD功能.

水平測量長度: 0-120/200毫米.

水平測量分辨率: 0.01微米

垂直量程: 微觀輪廓量程 +/-800微米,分辨率0.001微米，宏觀輪廓量程40mm,分辨率0.06微米，花崗巖平臺780x500 / 630x500,機動立柱行程400/800mm，可配標準,圓弧面,小孔,深槽,倒角,齒面的各種測頭可配非接觸表面測量的激光傳感器和聲表波傳感器(選項)