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日本東洋半導體 太陽能電池 LED 線切機

時間:2021/11/3 9:57:38     企業:歐洲機床與智能制造網

 半導體・太陽能電池・LED・功率半導體制造裝置(線切機)
對應半導體・太陽能電池・LED及功率半導體等IT產業所有的坯料加工

1、TWP-500DL 金剛線線切機

對應太陽能晶片。使用金剛線和切線網,滿足高精度、高成品率及高生產效率的線切機。
TWP-500DL是以配合使用金剛線加工而開發的線切機。為最大限度發揮出金剛線磨粒的加工特長,在設備各處使用了本公司獨自的技術。設備規格可將 □156mm×L500mm的硅晶棒上下2段排列,并一次切割2根晶棒。上下左右配置4根導線軸,將1條鋼線分為上下兩段用, 且各自獨立的繞線加工網。為防止鋼線在走線時出現扭曲和斜行走線,配置了繞線軸和滑輪。同時還搭載了大功率電機等。本設備與以往的線切機相比,實現了2倍以上的高生產效率。即使在進行每分1mm的高速切割時,也可確保TTV10μm以下的高精度,且達到98%以上的高成品率。
咨詢電話:135 2207 9385

主要規格
TWP-500DL
安裝尺寸。ㄕ鎸×縱深×高)
mm
1,860×4,200×2,590
最大晶棒尺寸
mm
φ156
鋼線導向軸數
4
最大晶棒長度
mm
500×2。ㄉ舷2段)
最大走線速度
m/分
1,500

 

 

2、TWG-300 金剛線線切機

藍寶石、SiC、GaN用金剛線線切機。

TWG-300是以使用金剛磨粒為前提開發的金剛線線切機。因采用可最大限度發揮出金剛線性能的技術,在進行φ4英寸的藍寶石鑄晶棒的切割時,也可實現
[1]2倍的生產效率(切割時間為舊款設備的一半)
[2]TTV10μm、BOW10μm的高精度加工
[3]線使用量15m/片以下的低加工成本。
TWG-300上新搭載了可使鋼線導向軸搖動的新型搖動框架,可高效切割難以磨削的材料。除了牢固的基本構造外,還采用了將搖動機構一體化的高剛性框架構造等,提高了設備整體的剛性。并且,還采用了防止鋼線發生扭曲和斜行的走線控制、鋼線的張力保持不變的張力控制等,從而最大限度發揮出金剛線的切割性能。除此以外,還搭載了大功率電機等,即使在高負荷時也可進行高速且正確的切割,實現了走線速度1,500m/分的高速化,以及在加減速時間1.5秒下的高速往返切割。另外,還采用了可根據切割位置設置線速度、搖動速度、搖動角度等各種條件的曲線控制。利用此功能,在進行難磨削材料的切割時,也可確保高生產效率、高精度加工和低運行成本。

主要規格
TWG-300
安裝尺寸。ㄕ鎸×縱深×高)
mm
1,700×3,505×2,880
最大晶棒尺寸
mm
φ150
鋼線導向軸數
2
最大晶棒長度
mm
300
最大走線速度
m/分
1,500

 

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